発表日:2022年12月01日
EUVマスクの欠陥レビューに対応 DR-SEM「E5620」を発売
株式会社アドバンテスト（本社:東京都千代田区 社長:吉田 芳明）は、DR-SEM(*)の新製品「E5620」の販売を開始しました。高精度・高スループット欠陥レビュー性能により、次世代フォトマスクの生産品質向上とマスク製造のTAT(Turn Around Time)短縮に大きく貢献します。
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発表日:2022年12月01日
EUVマスクの欠陥レビューに対応 DR-SEM「E5620」を発売
株式会社アドバンテスト（本社:東京都千代田区 社長:吉田 芳明）は、DR-SEM(*)の新製品「E5620」の販売を開始しました。高精度・高スループット欠陥レビュー性能により、次世代フォトマスクの生産品質向上とマスク製造のTAT(Turn Around Time)短縮に大きく貢献します。
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