発表日:2021年12月01日
湿式排ガス処理装置 G-WS型を発売
荏原製作所（以下:荏原）は、2021年11月より、半導体製造プロセスにおける水溶性ガス処理を対象とした湿式排ガス処理装置G-WS型を新たに発売しました。
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発表日:2021年12月01日
湿式排ガス処理装置 G-WS型を発売
荏原製作所（以下:荏原）は、2021年11月より、半導体製造プロセスにおける水溶性ガス処理を対象とした湿式排ガス処理装置G-WS型を新たに発売しました。
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