新商品・新製品・新サービス

発表日:2023年08月31日
多様な半導体デバイスに対応し、既存装置の置き換えに最適
縮小投影倍率5倍 i線ステッパー「NSR-2205iL1」を発売

株式会社ニコン（社長:馬立 稔和、東京都港区）は、パワー半導体、通信用半導体、MEMSなど様々なデバイスに対応し、ニコンの既存のi線露光装置との互換性が高い縮小投影倍率5倍 i線ステッパー「NSR-2205iL1」を発売します。コストパフォーマンスに優れ、ウェハ素材を選ばず、様々な半導体デバイスの効率的な生産に貢献します。なお、縮小投影倍率5倍のi線露光装置の新製品発売は、25年ぶり（※1）のこととなります。

※1 「NSR- 2205i14E2」の受注を開始した1999年から起算

■発売概要

・商品名 : 縮小投影倍率5倍 i線ステッパー「NSR-2205iL1」
・発売時期 : 2024年夏頃

■開発の背景

電気自動車や高速通信、様々なITデバイスの普及が進む中、これらを支える半導体への需要は高まっています。こうした半導体への要求性能は多岐に渡り、露光装置に対するお客様の要望も複雑化、高度化しています。

ニコンは、これまでは中古装置のリファービッシュ等で旺盛な需要に応じてきました。お客様へより最適なソリューションを提供すべく、お客様との伴走活動を通じて得た知見をもとに、露光装置の老朽化・需給ひっ迫が進む縮小投影倍率5倍のi線露光装置市場へ新製品を展開することを決定しました。さらに、多様なニーズに対応する各種オプションを拡充することで、半導体製造装置を通じてお客様の半導体デバイス生産を長期的な視点で支えていきます。