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荏原、ドライ真空ポンプ EV-X型を発売

  • 2021/11/15
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荏原、ドライ真空ポンプ EV-X型

発表日:2021年11月15日
ドライ真空ポンプ EV-X型を発売
荏原製作所(以下:荏原)は、半導体製造における中負荷プロセス向けドライ真空ポンプEV-X型を発表しました。

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