発表日:2021年11月15日
ドライ真空ポンプ EV-X型を発売
荏原製作所（以下:荏原）は、半導体製造における中負荷プロセス向けドライ真空ポンプEV-X型を発表しました。
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発表日:2021年11月15日
ドライ真空ポンプ EV-X型を発売
荏原製作所（以下:荏原）は、半導体製造における中負荷プロセス向けドライ真空ポンプEV-X型を発表しました。
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