発表日:2021年12月08日
第8世代、フラットパネルディスプレイ向けプラズマエッチング装置PICP(TM)Pro販売開始のお知らせ
東京エレクトロン(TEL、東京都港区、社長:河合利樹)は、第8世代（*）ガラス基板対応プラズマエッチング装置に関し、高精細プロセス向け新チャンバーPICP(TM)Proを搭載した「Impressio(TM)2400 PICP(TM)Pro」を販売開始することをお知らせします。
IT製品や大型テレビ向けを中心とした第8世代でのディスプレイ製造においては、広いガラス面積に対して、高密度かつ均一なプラズマを用いたエッチング加工が求められます。OLEDに代表される高精細・高付加価値のディスプレイが大型化し、従来以上にパーティクルなどにおいて厳格な製造装置の管理が求められています。
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