SCREENセミコンダクターソリューションズ、枚葉式洗浄装置「SU-3400」を発売
発表日:2022年12月07日
枚葉式洗浄装置「SU-3400」を発売
〜世界最高レベルの生産性と高い処理性能を実現〜
株式会社SCREENホールディングスのグループ会社である株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ（代表取締役 社長執行役員:後藤 正人）はこのほど、世界最高レベル（※1）の生産性と独自の洗浄処理技術を備えた、枚葉式洗浄装置（※2）「SU-3400」を開発。2022年12月から販売を開始しました。
近年、高度なロジックやメモリーなどの半導体デバイスは、回路パターンのさらなる微細化・高集積化が進んでおり、半導体洗浄プロセスにおいては従来以上に、ウエハーの高い清浄度が求められています。そのため、優れた洗浄性能と安定したプロセス処理能力を併せ持つ、生産性の高い枚葉式洗浄装置へのニーズが高まっています。一方、半導体デバイスの需要の高まりに伴い、装置の稼働時における省エネルギー化、薬液使用量の削減など、製造工程における環境負荷の低減が、半導体業界全体に共通する課題となっています。※1 当社の標準処理条件に基づいて算出（2022年12月現在）
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