発表日:2021年10月21日
300mmウェハ全面の一括検査機能と計測機能を1台で両立
自動マクロ検査装置「AMI-5700」を発売
株式会社ニコン（社長:馬立 稔和、東京都港区）は、300mmウェハ全面を高感度で高速に一括検査する自動マクロ検査装置「AMI-5700」を発売します。
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発表日:2021年10月21日
300mmウェハ全面の一括検査機能と計測機能を1台で両立
自動マクロ検査装置「AMI-5700」を発売
株式会社ニコン（社長:馬立 稔和、東京都港区）は、300mmウェハ全面を高感度で高速に一括検査する自動マクロ検査装置「AMI-5700」を発売します。
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