発表日:2020年11月6日
電子材料用高純度ガス事業 中国四川省に合弁会社を設立
－中国の需要拡大に対応－
昭和電工株式会社（社長:森川宏平）は、電子材料用高純度ガス事業強化のため、中国の成都科美特特種気体有限公司と合弁で「成都科美特昭和電子材料有限公司」を四川省成都市に設立、来年1月、営業を開始いたします。新会社では主に半導体の製造工程で使われる高純度FC-14（テトラフルオロメタン、以下 CF4）の最終製造工程を担います。
当社電子材料用ガスの主力製品の一つであるCF4は、量産使用からすでに40年以上が経過している、電子材料用ガスの中では最も基本・基礎的なエッチング用ガスです。取り扱いの容易さに加え、ますます進む微細化加工にも適しており、また半導体向けだけでなく有機EL製造工程などでの使用も拡大していることから、今後も堅調に需要が増加していくと見込まれています。
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