キヤノン、半導体露光装置KrFスキャナー「FPA-6300ES6a」の生産性向上オプション”Grade10″を発売

キヤノン、半導体露光装置KrFスキャナー「FPA-6300ES6a」の生産性向上オプション"Grade10"を発売

発表日:2022年06月13日
KrF半導体露光装置「FPA-6300ES6a」オプション”Grade10″を発売
業界最高水準となる毎時300枚の高い生産性を実現
キヤノンは、メモリーやロジックなどの半導体量産工場において定評のある半導体露光装置KrF(※1)スキャナー「FPA-6300ES6a」の生産性向上オプション”Grade10″を2022年8月上旬に発売します。KrF半導体露光装置の300mm基板において業界最高水準(※2)となる毎時300枚(※3)の生産性を実現しました。
※1 露光波長は248nm。フッ化クリプトンのエキシマレーザー光を利用した半導体露光装置。1nm(ナノメートル)は10億分の1メートル。
※2 300mm基板対応の半導体露光装置KrFスキャナーにおいて。2022年6月12日現在。(キヤノン調べ)
※3 300mm基板、96ショットの条件において、1時間あたりの露光処理枚数。

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