発表日:2022年12月13日
高感度・高スループットを両立したウェーハ表面検査装置「LS9600」を発売
−歩留まり向上、検査コスト削減に貢献するインラインウェーハ表面検査装置−
株式会社日立ハイテク(以下、日立ハイテク)は、このたびパターンなしウェーハ表面における異物や欠陥を検査する「LS9600」(以下、本製品)を発売します。本製品は、新規採用の高出力・短波長レーザーなどを搭載することにより、最先端半導体デバイス量産に必要な感度におけるスループット性能が、従来製品と比較して約2.6倍向上しました。日立ハイテクは、本製品の提供を通して、お客さまの半導体デバイス量産における歩留まり向上、および検査コスト削減に貢献していきます。
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