発表日:2021年12月09日
データ駆動型の研究開発を支援する新型FE-SEM2機種を発売
大量データの自動取得機能を強化し、スループット向上に貢献
株式会社日立ハイテク(以下、日立ハイテク)は、このたびデータ取得の自動化機能を強化した2機種のFE-SEM（*1）「SU8600」「SU8700」(以下、本製品群)を発売します。FE-SEMは、半導体やライフサイエンス、材料開発などの幅広い分野において、微細構造の観察や計測・分析を行う際に活用されている走査電子顕微鏡です。今後、多くのデータを必要とするデータ駆動型研究開発の進展が予想される中、本製品群を活用いただくことにより、大量データの短時間取得やユーザーの負荷低減を支援してまいります。なお、国内での販売価格は、「SU8600」を7,400万円(税別)、「SU8700」を7,900万円(税別)で予定しており、2機種併せて年間200台を販売目標としています。
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