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発表日:2023年05月17日
生産現場の微振動をエプソン独自の水晶方式で手軽に計測する「スマート振動センサー」新発売

• エプソンの生産現場で培った豊富な振動対策ソリューションをコンパクトに凝縮 –
  エプソンは、生産現場などにおける微細な振動を高精度で測定できる新商品として、スマート振動センサー『M-A750FB』を2023年5月17日より受注開始します。

エプソンは、2014年に加速度センサー商品を発売して以来、さまざまなアプリケーションに採用され、その品質と多くの実績により高い評価を得ています。

今回の新商品は、振動による影響が大きい”精密機器を用いた生産現場”、もしくは”精密機器の開発・生産現場”において、特に計測の難しい周波数の低い振動を、エプソン独自の水晶方式により簡単に計測することを可能にしました。従来、低周波振動の計測には、高価で大型の「サーボ式加速度センサー」が使われてきました。エプソンは、水晶材料の製造技術、および、独自の水晶微細加工技術により、サーボ式加速度センサーと同等の高精度かつ小型・軽量で、簡単に測定できるスマート振動センサーを商品化しました。

■スマート振動センサー開発の経緯/社会的課題

半導体製造装置、画像検査装置などの精密機器は、設置環境の微細な振動の影響で期待される性能が発揮されない場合があります。例えば工場建屋の地盤・床、周辺装置から伝搬してくる振動は周波数が低く、人の感覚では気づきにくいことが多くあります。そのような設置環境に左右されることなく、精度高い生産や検査を実現するには、振動状態の把握が不可欠となります。

本商品は、微細な振動を高精度かつ簡単に測定し、これらの課題解決に貢献します。