キヤノン、FPD露光装置「MPAsp-E903T」を発売

キヤノン、FPD露光装置「MPAsp-E903T」を発売

発表日:2020年11月16日
解像力1.2マイクロメートルで高精細中小型ディスプレイ製造に対応
FPD露光装置”MPAsp-E903T”を発売
キヤノンは、第6世代ガラス基板サイズに対応したFPD(フラットパネルディスプレイ)露光装置の新製品として、さらなる高精細化が期待されている次世代の中小型ディスプレイ向けに解像力1.2マイクロメートル(L/S)を実現した”MPAsp-E903T”を2020年11月下旬に発売します。

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