発表日:2021年12月08日
大幅な小型化を実現した「大気圧プラズマ照射装置」の販売を開始
－ 表面処理プロセスへのソリューション提供力を強化 －
ウシオ電機株式会社（本社:東京都、代表取締役社長 内藤 宏治、以下 ウシオ）は、空冷方式の採用により大幅な小型化を実現した「大気圧プラズマ照射装置」の販売を、2021年12月から開始いたします。
本製品は、弊社独自のDBD方式（※1）により低消費電力ながら、ポリプロピレン（PP）や液晶ポリマー（LCP）などの樹脂系基板・ガラスなどの無機基材に対して高い洗浄・表面改質効果が得られます。また、プロセスガスのみで冷却することが可能であり、大幅な小型化・軽量化を実現。設置レイアウトの自由度向上や既存設備への追加搭載を容易にしました。
※1 Dielectric Barrier Discharge（誘電体バリア放電）
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