発表日:2022年12月12日
洗浄装置CELLESTA(TM) MS2 販売開始のお知らせ
東京エレクトロン（TEL、東京都港区、社長:河合利樹）は、洗浄装置CELLESTA(TM) MS2の販売を開始することをお知らせいたします。
枚葉洗浄装置のCELLESTAシリーズは、半導体製造における洗浄工程で幅広く採用いただいています。このたびリリースするCELLESTA MS2は、2流体スプレーおよびブラシによる物理洗浄機能を備えた洗浄装置です。本装置は、両面同時処理を実現したことで、従来製品と比較してさらに高い生産性を実現しています。両面処理時の単位面積当たりの生産性は従来装置より1.5倍以上(当社比)となりました。同時に、従来は洗浄時に非洗浄面の保護のために使用していた純水やガスを使用しないことで、プロセス時の用力使用量の削減にも貢献します。また、TEL独自のウェーハ保持技術により、これまで課題であったウェーハ最外周部およびベベル部分までの洗浄を可能とし、最先端の半導体製造で求められるパーティクル制御性を兼ね備えています。
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